陜西儀誠實驗室設備有限公司成立于2012年，是北京東南儀誠實驗室設備有限公司在十三朝古都西安設立的陜西分公司，公司致力于國內外知名實驗室科研儀器和實驗室教學儀器的銷售推廣和售后服務，客戶涉及各大科研院所、高校、醫院、企業、第三方檢測和疾控，藥監等政府職能部門。
等離子清洗機
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000XS
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式
高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應
多種用途。
●可變更電極構造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據需求規格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應
多種用途。
●可變更電極構造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據需求規格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
| 等離子模式 | DP/RIE |
|---|---|
| 高頻電源 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | Max1000 & 1500W |
| 有效電極尺寸 | W400×D375mm |
| 電極 | 平板（多目的） |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） |
| 真空泵（標配） | 1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 |
